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氣冷式羅茨真空泵工作原理

 

 

 

ZJQ系列氣冷式羅茨真空泵的結構如圖所示。在泵腔內,有二個轉子(兩葉或多葉)安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。與ZJ系列普通羅茨真空泵相比,ZJQ系列氣冷式羅茨真空泵在泵體側面適當位置設計有回流口,將冷卻的氣體導入泵腔內以冷卻轉子,使轉子溫度保持在規定的范圍內,因此ZJQ系列氣冷式羅茨真空泵可承受更高的壓差(可達90kPa)而不會發生過熱。

 

 

氣冷式羅茨真空泵工作原理   

圖(a)~圖(f)為ZJQ氣冷式羅茨真空泵工作過程:   

如圖(a),在旋轉過程中,泵上方的空腔逐漸變大,氣體被吸入;當轉至圖(b)時,右轉子從泵入口封入V0體積的氣體;當轉至圖(c)時,右側V0腔與回流管路接通,此時因排氣側壓力要高于V0腔,因此排氣口氣體被換熱器冷卻后返流至V0腔;當轉至圖(d)時,左轉子封入V0體積的氣體;當轉至圖(e)及圖(f)時,左側的V0腔與回流管路接通,冷卻后的氣體返流至左側的V0腔;當繼續轉至圖(a)時,右側的返流腔與排氣口相通;繼續轉至圖(c)時,最初右轉子封入的氣體連同返流的氣體一起排出泵外。轉子主軸旋轉一周共排出6個V0體積的氣體。

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